لا يمكن معالجة الأجزاء الدقيقة لإكمال جميع محتويات المعالجة لجميع الأسطح في عملية واحدة ، ويمكن تقسيم عملية المعالجة الكاملة لمعالجة الأجزاء الدقيقة إلى المراحل التالية.
(4) مرحلة التشطيب.تستخدم بشكل رئيسي لتقليل قيمة خشونة السطح أو تقوية السطح المعالج ، بشكل أساسي لمتطلبات خشونة السطح عالية جدًا (ra 0.32 μm) معالجة السطح.
(5) مرحلة تصنيع فائقة الدقة.دقة التصنيع في 0.1-0.01 ميكرومتر ، قيمة خشونة السطح ra ≤ 0.001 ميكرومتر مرحلة المعالجة.طرق المعالجة الرئيسية هي: القطع الدقيق ، طحن المرآة الدقيقة ، الطحن والتلميع الدقيق ، إلخ.